Meiden純臭氧發生器是液化和儲存臭氧氣體并連續供應高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平，它可以用作半導體工藝中的氧自由基產生源。為了安全起見，本機具有足夠的安全措施。

此外，該單元是與日本國立先進工業科學技術研究所共同開發的。
 

參數

積蓄處

臭氧反應室數量：1

最大臭氧積蓄量*¹ [cc*²] ：8000/裝置  8000/反應室   

液體臭氧濃度[％] ? 100 

供給處

連續供給能力[sccm]：無

最大供給能力[sccm] ：100  

臭氧氣體濃度[％] ： 90 

最大供給時間[分]*³  ：80  

國際安全標準SEMI-S2, UL, NFPA, CE ：符合

特征：

將臭氧生成裝置產生的臭氧氣體極度低溫液化后，生成100%濃度臭氧

可以持續供給100%濃度臭氧

安全對策

基于安全裝置設計的考慮，保持高純度?減壓狀態，使臭氧不產生危險反應。

安全設計

• 緊急時的防爆設計

• 停電，異常時通過安全系統控制溫度和壓力。

信賴性

• 停電時、先稀釋臭氧濃度，然后將裝置內殘留臭氧緊急排出。

• 異常發生時可以通過EMO（緊急停止）開關來手動停止裝置。（為防止臭氧爆炸，冷凍機具有持續運行功能）

• 液化反應室收納于真空斷熱的SUS容器中，萬一臭氧發生爆炸也不會造成對外部機械損傷。

• 液態臭氧冷卻裝置具有足夠的容積來容納液態臭氧，減少由震動引起的急速氣化爆炸風險。

標準認證

• 符合國際安全標準（SEMI-S2、UL、NFPA、CE 等）

品質保證

• 由第三方認證機關通過示蹤氣體實驗認證具有防止氣體泄露的安全性。

OER *工藝技術
通過將高濃度臭氧和乙烯混合，成功地生成了大量OH自由基。

外形圖

熱品推薦 / Hot product

問候語

問候語 取締役社長 三井田 健 2017年我們慶祝公司成立120周年。 我們要感謝許多客戶的信任和惠顧。 邁登集團以創造更美好的未來和讓客戶安心，快樂的企業理念為基礎，建立了新的企...

明電舍溫室氣體減排目標（向上修訂）

溫室氣體減排目標（向上修訂） 修訂前（于2018年5月宣布） 校正后（2021年4月?） 2030年目標 表現 2030年目標[SBT認證] 業務活動產生的排放 （范圍1 + 2） 減少30％ （與2017年相比） 2019年...

提高中長期溫室氣體減排目標并獲得SBT認證

明電社株式會社（社長：東京都品川區三井田賢代，下稱明電社）正根據從2021年開始實施的新的中期經營計劃，致力于向2050年實現碳中和的社會脫碳目標。將向上修訂2030財年（中間階...

高品質金屬氧化物薄膜成長

效果 利用純臭氧作為氧氣源可以形成高品質的金屬氧化物薄膜。 利用純臭氧作為氧氣源的優越性得到國際認知。...