一個好處是臭氧可以用小劑量和殘留物殺死多種微生物。許多因素決定了殘留量，但一般來說，臭氧產量越高，殘留量越高，在水中的持續時間越長。所需的殘留物取決于要殺死的微生物的數量和類型。當臭氧降解時，它會恢復為氧氣，因此它是安全的，不會對人、設備或環境造成化學危害。